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超纯半导体的高分辨率光热电离光谱

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【作者】 俞志毅； 黄叶肖； 朱景兵； 陆卫； 沈学础； Eugene E.Haller；

【机构】 中国科学院上海技术物理研究所红外物理开放研究实验室； 美国加州大学伯克利分校劳伦斯伯克利实验室 上海 200081； 上海 200081； 上海 200081；

【摘要】 <正> 一、引言 超纯半导体不仅在核辐射及红外辐射探测等方面有重要应用,而且对半导体浅杂质态研究亦具有积极意义。由于超纯半导体中浅杂质含量极微,所有传统的杂质检测方法已难以探测和识别,因此很有必要发展相应的高灵敏度检测手段。光热电离光谱技术正是这样的理

【关键词】 超纯半导体； 浅杂质； 光热电离光谱；
  • 【文献出处】 科学通报 ,Chinese Science Bulletin , 编辑部邮箱 ,1990年03期
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