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金刚石薄膜光致发光的研究

Studies on the Photoluminescence Feature of Diamond Thin Film

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【作者】 金曾孙； 吕宪义； 于三； 邹广田；

【Author】 Jin Zengsun, Lu Xianyi, Yu San and Zou Guangtian (Institute of Atomic and Molecular Physics, Jilin University)

【机构】 吉林大学原子与分子物理研究所； 吉林大学原子与分子物理研究所；

【摘要】 本文研究了用热灯丝化学气相沉积方法在硅、钼和碳化钨衬底上制备的金刚石膜的光致发光特性。

【Abstract】 The present paper reports the photoluminecence feature of diamond thin film synthesized on Mo, Si and WC substrates by hot filament Chemical Vapour Deposition method.

【关键词】 金刚石薄膜； 热灯丝化学气相沉积方法； 光致发光；
【Key words】 diamond thin film； hot filament chemical vapour deposition； photoluminescence；
  • 【文献出处】 吉林大学自然科学学报 ,Journal of Jilin University , 编辑部邮箱 ,1990年04期
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