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液相外延MCT薄膜表面形貌观察及与组分的关系

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【作者】 王跃； 汤志杰； 庄维莎； 何景福；

【机构】 昆明物理研究所； 昆明物理研究所；

【摘要】 用扫描电子显微镜对滑块式液相外延技术生长的MCT外延薄膜表面形貌进行了观察,并用能谱仪对其表面组分进行了分析.研究结果表明:除衬底情况、生长条件以及生长系统外、外延薄膜表面组分与其表面形貌也有一定的关系.本文较详细地报道了MCT外延膜表面形貌观察结果,并初步讨论了表面组分对表面形貌可能的影响.

【关键词】 液相外延薄膜； 生长条纹； 表面形貌； 表面组分； 碲镉汞；
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