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高真空排气过程计算机控制系统

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【作者】 诸静； 高锋； 蔡际令；

【机构】 浙江大学； 浙江大学；

【摘要】 高真空排气是真空电子器件生产过程中关键工艺。本文介绍的计算机实时控制系统被首次应用于滚生产过程中。文章阐述了该系统的控制模式,系统功能与硬件配置:系统软件开发以及其特点等内容。

【关键词】 计算机控制系统； 实时控制系统； 排气过程； 硬件配置； 系统软件开发； 生产过程； 真空电子器件； 真空排气； 高真空； 工步；
  • 【文献出处】 工业控制计算机 ,Industrial Control Computer , 编辑部邮箱 ,1990年04期
  • 【被引频次】4
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