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SnO2/Fe2O3多层结构薄膜型气敏元件的研究

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【作者】 马晓翠； 阎大卫； 戴国瑞； 邹慧珠；

【机构】 吉林大学电子科学系； 吉林大学电子科学系；

【摘要】 本文报导了采用等离子体增强化学气相淀积（PECVD）方法制备 SnO2/Fe2O3多层薄膜气体敏感材料及敏感元件的性质。所研制的多层薄膜在保持对乙醇有较高的灵敏度及较好的响应恢复时间的同时,其稳定件较单层膜有明显地改善。乙醇和汽油的分离倍数达10左右,对其它气体分离倍数更高。研究表明所制备的 SnO2/Fe2O3薄膜材料可用于开发新型气敏元件。

【关键词】 多层薄膜； SnO2； Fe2O3； 气敏元件；
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