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激光合成特殊性能薄膜的新方法

A New Synthesis Method for Special Property Film by Laser

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【Author】 Pan Junde Fan Benhui Zheng Weineng Li Chenming(Ion-Permeation and heat treatment Instisute Taiyuan Industry University) Li Yu(Laser Lab, Taiyuan Industry University)

【机构】太原工业大学离子渗金属及热处理研究所；太原工业大学基础部；

【摘要】本文主要介绍国内外激光技术在合成金刚石薄膜、立方氮化硼薄膜、超导薄膜、半导体薄膜等的最新方法.更多还原

【Abstract】 In the paper, the newest methods for syntyesing diamend film, Cubic BN film,superconductor film and semiconductor film at home and abroad are introduced.更多还原

【关键词】薄膜质量；金刚石薄膜；半导体薄膜；立方氮化硼薄膜；超导薄膜；激光场；陶瓷薄膜；激光技术；合成金刚石；导体膜；

【文献出处】光电子·激光 ,Journal of Optoelectronics·Laser , 编辑部邮箱 ,1990年05期

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