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高效气体脱氧管的性能考察

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【作者】 高增； 唐学渊； 朱风顺； 张俊香； 林玉占；

【机构】 中国科学院大连化学物理研究所； 中国科学院大连化学物理研究所；

【摘要】 <正> 前言为了满足大规模集成电路、色谱等精密仪器或测试方法、激光、电真空材料加工、金属有机合成、催化、生化等生产及科研领域中气体的深度净化需要,我们研制了一种新的净化工具——高效气体脱氧管。它的应

【关键词】 电真空材料； 测试方法； 深度净化； 氧容量； 露点仪； 净化气； 中含； 压降； 耐压性； 稳压阀；
  • 【文献出处】 低温与特气 ,Low Temperature and Specialty Gases , 编辑部邮箱 ,1990年01期
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