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非接触式微位移光纤传感器

A Non-contact Fiber-optic Sensor with Monitoring the Distance of Submicrometers

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【作者】 朱建中薛静琪俞国林史智华

【Author】 Zhu Jianzhong Xue Jingqi Yu Guolin Shi Zhihua (Shanghai Institute of Metallurgy, Academia Sinica)

【机构】 中国科学院上海冶金研究所中国科学院上海冶金研究所

【摘要】 本文描述了用于装配电子枪时控制阴极与第一栅极间距的光纤传感器的结构及其测量系统.传感器的测量范围为10~160μm,精度可达3.8%.讨论了影响传感器特性的若干因素,如制作工艺、表面粗糙度、倾斜度、环境温度和LED的光谱特性.

【Abstract】 The construction and measurement system of fiber-optic sensor for monitoring the distance between cathode and first grid during assembly of electron gun are described. Its measurement range and precision are 10~160μm and 3.8% respectively. Some factors, such as manufacture technique, surface roughness, gradient, environment temperature and spectral character of LED, affected the behaviour of the sensor are discussed.

  • 【文献出处】 传感技术学报 ,Journal of Transcluction Technology , 编辑部邮箱 ,1990年02期
  • 【被引频次】6
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