【摘要】 本文以一些实例和所得到的结果来说明Ar~+离子在抑制晶向腐蚀作用、调节钝化阻挡层,以及清除微粒淀积物等方面的作用。更多还原

【Abstract】 Experiments and results are shown in this paper to illustrate the role of Ar~+ ion inrestraining of orientation etching, adjusting of inhioition layer growing and clearing of micro-depositionon etching surfaces.更多还原