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半导体光电探测器

Semiconductor Photodetector

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【作者】 张佐兰； 孟江生； 陈卫东； 魏同立；

【Author】 Zhang Zuolan;Men Jianshen;Chen Weidong;Wei Tongli Microelectronics Center, Southeast University

【机构】 东南大学微电子中心； 东南大学微电子中心；

【摘要】 本文将介绍几种半导体光电探测器的研制工艺、器件特性及其应用举例。

【Abstract】 Fabrication process of some kind semiconductor photodetectors are presented.Device characteristics and their applications are reviewed.

【关键词】 光电探测器； 工艺； 特性；
【Key words】 Photodetector； Process； Characteristic；
  • 【文献出处】 半导体光电 ,Semiconductor Optoelectronics , 编辑部邮箱 ,1990年01期
  • 【被引频次】7
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