节点文献

离子束技术

  • 推荐 CAJ下载
  • PDF下载
  • 不支持迅雷等下载工具，请取消加速工具后下载。

【作者】 余怀之；

【机构】 北京有色金属研究总院；

【摘要】 离子束作为材料合成、加工技术在飞速发展,有着巨大的科学上和工业上的意义。本文就离子束技术目前的发展及其在某些重要领域中的应用作一概括介绍。

【关键词】 离子束技术； 材料合成； 离子束沉积； 离子注入； 沉积膜； 溅射法； 聚焦离子束； 离子束辅助沉积； 原子比； 外延层；
  • 【文献出处】 稀有金属 ,Chinese Journal of Rare Metals , 编辑部邮箱 ,1989年05期
  • 【被引频次】1
  • 【下载频次】74
知网节下载
节点文献中： 

本文链接的文献网络图示:

本文的引文网络
二级参考文献(0)
参考文献(0)
共引文献(0)
节点文献
同被引文献(0)
引证文献(0)
二级引证文献(0)