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压电阀脉冲充气进气量的准确控制

ACCURATE CONTROL OF GAS PUFFING TRROUGHPUT WITH A PIEZOELECTRIC XALVE

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【作者】 闻一之； 万树德； 刘万东； 吕惠娟； 周立永； 李毅；

【Author】 Wen Yizhi, Wan Shude, Liu Wandong, Liu Huijuan, Zhou Liyong, Li Yi (Dept, of Modern Physics, National University)of Science and Technology

【机构】 中国科学技术大学近代物理系； 中国科学技术大学近代物理系；

【摘要】 <正> 一、引言采用脉冲方式注入工作气体是现代托卡马克实验中一种先进充气方式。与持续冲气相比,脉冲送气有利于提高并保持较好的本底真空度、降低壁面吸附、减轻杂质污染等,从而有利于等离子体的约束与加热,使放电调试的时间缩短,较快地达到稳定水

【关键词】 托卡马克； 进气量； 脉冲方式； 真空度； 工作气体； 自动控制器； 驱动控制系统； 闭环反馈； 控制精度； 门控制；
  • 【文献出处】 真空科学与技术 ,Vacuum Science and Technology , 编辑部邮箱 ,1989年05期
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