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FMGV-1型快速电磁阀
FMGV-1 FAST ELECTROMAGNETIC GAS VALVE
【摘要】 本文描述的快速电磁阀,采用了背压和橡皮弹力关闭阀门,储能电容器通过紧靠可动阀体圆盘的驱动线圈临界阻尼放电打开阀门。阀门启动时间为100~200μs,打开时间为200~800μs。进气量可在大范围内连续可调。当背压和气库气压分别为P_b=P_N=1×10~5Pa时,实验重复五十次,进气量的均方误差不大于3%。
- 【文献出处】 真空科学与技术 ,Vacuum Science and Technology , 编辑部邮箱 ,1989年02期
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