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压阻式压力传感器的力学模型及几何因素

The Mechanical Model and Geometric Factorof Piezoresistive Pressure Transducer

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【作者】 姚承三徐科军马文

【Author】 Yao Cheng-san

【机构】 中国矿业学院中国矿业学院合肥工业大学

【摘要】 <正>一、问题的提出 要制作高精确度硅杯式压阻压力传感器,设计、工艺、材料是三个关键环节,而分析敏感部分的工作原理,建立其精确的数学模型,则是搞好设计的前提。’以往,人们都依据弹性薄板力学原理,

  • 【文献出处】 自动化仪表 ,Process Automation Instrumentation , 编辑部邮箱 ,1989年08期
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