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准分子激光溅射法制备高温超导薄膜

Preparing High Temperature Superconducting Thin Films with Excimer Laser Sputtering

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【作者】 安承武； 范永昌； 周风晴； 陆冬生； 李再光；

【Author】 An Chengwu Fan Yongchang Zhou Fengqing Lu Dongsheng Li Zaiguang (Huazhong University of Science and Technology)

【机构】 华中理工大学； 华中理工大学；

【摘要】 利用准分子激光光束照射钇钡铜氧超导体,取得了零电阻温度为85K 的钇钡铜氧超导薄膜;研究了淀积条件与退火过程对薄膜成份及超导性能的影响。

【Abstract】 A UV beam from an excimer laser was used to irradiate a superconducting Y-Ba-Cu-O pellet.Films with zero resistance temperature 85 K were achived.The effects of depositionconditions and annealing processes on the stoichiometry and properties of films were discussed.

【关键词】 高温超导薄膜； 钇钡铜氧； 超导性能； 溅射法； 零电阻； 退火过程； 准分子激光； 薄膜性能； 淀积； 激光光束；
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