沿两种材料间的ZnO膜传播的界面声波

【摘要】 本文介绍了沿夹于两种材料之间的ZnO膜传播的界面声波（BAW）的理论和实验结果。从理论上获得了其传播速度、机电耦合系数（K²）和其位移与ZnO膜标称厚度之间的色散曲线。也计算出了其延时温度系数（TCD）,它在一特定膜厚时变为零。当三种材料的材秆参数都能满足本研究所获得的特定条件时,则只存在界面声波。这种波存在的范围比作者另外介绍的斯通利波存在的范围大些。为了验证存在界面波的理论预言,对SiO₂/ZnO/SiO₂结构进行了实验研究。通过溅射技术在熔融石英基片上制备了一层ZnO膜和一层较厚的SiO₂层。然后用叉指换能器激励和接收沿ZnO层传播的界面声波。其传播损耗实际上与瑞利波的值一样,表明了该系统的固有模式。由这些结果我们可以预期将来制作的SAW器件可不用任何外壳封装。更多还原