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双极性高压稳压电源及高稳定偏转放大器

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【作者】 李荣玉； 陆家和； 张志远；

【机构】 清华大学无线电系真空物理教研室； 清华大学无线电系真空物理教研室；

【摘要】 离子探针在样品上大范围扫描时,需要比较高的偏转电压,为此我们研制了一台高稳定高压偏转放大器,其输出电压为±400伏,稳定度为5×10-6,带宽为25kHz;同时研制了一台纹波小于10mV,输出电流大于50mA的±500伏稳压电源。

【关键词】 双极性； 偏转电压； 偏转板； 纹波； 输出电压； 离子探针； 运算放大器； 恒流源； 正电源； 离子束刻蚀；
  • 【文献出处】 微细加工技术 ,Microfabrication Technology , 编辑部邮箱 ,1989年01期
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