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分子电子学与离化团束(ICB)薄膜新技术

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【作者】 汤海鹏； 冯嘉尤； 李恒德；

【机构】 清华大学工程物理系； 清华大学工程物理系；

【摘要】 本文介绍了新的交叉学科──分子电子学的研究范围、目标和进展，介绍了有机材料传统的形膜技术（ＬＢ膜技术）及其新进展．重点介绍了新近发展起来的ＩＣＢ薄膜淀积技术的基本原理和特点，总结了用ＩＣＢ 淀积技术制备有机薄膜取得的成效，展望了ＩＣＢ淀积技术在有机分子材料及电子学领域中的发展方向和应用前景．

【关键词】 分子电子学； ICB； 薄膜淀积； 膜技术； 有机薄膜； 有机材料； 子材料； 离化； 晶体结构； 表面迁移率；
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