人工合成金刚石薄膜

【摘要】 <正> 金刚石的来源,除稀少的天然金刚石外,人工合成是另一主要来源。合成金刚石的传统方法有两种:一是爆炸法,得到的金刚石颗粒尺寸在微米数量级;另一是静压力法,此法要有高温高压条件,可以得到毫米数量级的颗粒状金刚石。颗粒状金刚石难以充分发挥其独特的性质而被广泛应用。近年来发展的等离子体(plasma)技术,可以在低温低压下合成出金刚石薄膜,有可能大大扩展其应用领域。合成薄膜的压力仅仅是过去的亿分之一到百万分之一,具有很大的优越性。更多还原