节点文献

双轴晶衬底上双轴晶单晶薄膜的椭偏测量

Ellipcometric measurement of biaxial single crystal films on biaxial crystal substrats

  • 推荐 CAJ下载
  • PDF下载
  • 不支持迅雷等下载工具,请取消加速工具后下载。

【作者】 施路平蒋民华邵宗书刘耀岗王继扬

【Author】 SHI LUPING, JIANG MINHUA, SHAO ZHONGSHULIU YAOGANG AND WANG JITANG (Institute of Crystal Materials, Shandong University, Jinan)

【机构】 山东大学晶体材料研究所山东大学晶体材料研究所 济南济南济南

【摘要】 本文给出了两种测量双轴晶衬底上双轴晶单晶膜的折射率和膜厚的方法及测量的公式.我们利用这种方法测量了所研制的KTP光波导薄膜层的折射率和膜厚.

【Abstract】 This paper presnts two kinds of methods for measuring the biaxial single crystal films on the biaxial crystal substroats. We have used such methods to measure the thickness and refractive index of the film layer of KTP waveguide.

【基金】 国家自然科学资助的项目
  • 【文献出处】 光学学报 ,Acta Optica Sinica , 编辑部邮箱 ,1989年11期
  • 【被引频次】4
  • 【下载频次】37
节点文献中: 

本文链接的文献网络图示:

本文的引文网络