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高重复率XeCl准分子激光器的放电特性

Discharge characteristics of XeCl excimer laser with high repetition rate

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【作者】 王华胜； 倪晋智； 汪建业； 朱广寅； 余吟山；

【Author】 WANG HUASHENG, NI JINZHI, WANG JIANYE, ZHANG ZHIPING,LI GUANGYIN AND YU YINSHAN (Anhui Institute of Optics and Fine Mechanics, Academia Sinica)

【机构】 中国科学院安徽光学精密机械研究所； 中国科学院安徽光学精密机械研究所；

【摘要】 本文报道紫外预电离放电泵浦的高重复率XeCl准分子激光器的放电特性,分析了放电参数的改变对放电过程的影响.最佳转换效率达2.2%.

【Abstract】 The discharge characteristics of XeCl excimer laser using UV preionization discharge pump with high repetition rate are described. Influnee of discharge parameters on discharge process are analyzed. The transfer efficiency maxmum hag reached 2.2%.

【关键词】 准分子激光器； 高重复率运转； 放电特性；
【Key words】 excimer laser； high repetition rate； power properties； efficiency properties .；
  • 【文献出处】 光学学报 ,Acta Optica Sinica , 编辑部邮箱 ,1989年10期
  • 【被引频次】1
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