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氮系Ⅲ—Ⅴ族化合物—A1N
【摘要】 AIN薄膜是一种高温绝缘膜和半导体器件的钝化膜,特别适用于超高频表面波器件,是有很大的应用潜力和发展前景的材料。本文主要介绍AIN薄膜的特性、制备方法和应用。
- 【文献出处】 电子工艺技术 ,Electronics Process Technology , 编辑部邮箱 ,1989年01期
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【摘要】 AIN薄膜是一种高温绝缘膜和半导体器件的钝化膜,特别适用于超高频表面波器件,是有很大的应用潜力和发展前景的材料。本文主要介绍AIN薄膜的特性、制备方法和应用。