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气相色谱法分析高纯气体的几个问题

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【作者】 高增；

【机构】 中国科学院大连化学物理研究所；

【摘要】 <正> 前言随着新技木的发展,各领域对高纯气体的品种和质量要求愈来愈高,半导体微电子器件工业,电真空材料加工,各种金属的冶炼和处理,大规模集成电路的研究和生产,色谱等精密仪器用的载气、零点气、标准气的制备,金属有机化合物的合成,石油化

【关键词】 电真空材料； 气体组成； 微电子器件； 金属有机化合物； 组份； 气相色谱法分析； 固体电解质； 预分离柱； 分离问题； 氧离子；
  • 【文献出处】 低温与特气 ,Low Temperature and Specialty Gases , 编辑部邮箱 ,1989年03期
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