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对向靶溅射参数对CoCr膜性质的影响及CoCr软盘的研究

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【作者】 姜恩永； 单慧波； 张西祥； 李金锷；

【机构】 天津大学物理系； 天津大学物理系；

【摘要】 本文系统地研究了对向靶溅射参数P_Ar、I_s、T_s、V_b对CoCr膜结构和磁性的影响。结果发现较低的P_Ar和适当的V_b对提高CoCr膜C轴的取向度有利,T_s、I_s对CoCr的磁性有很大影响。在此基础上研制出了CoCr软磁盘。

【关键词】 溅射法； CoCr； 原子数； 取向度； 垂直磁记录； 负偏压； 膜结构； 磁控溅射； 性能测试结果； 饱和磁化强度；
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