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DG-10型数字光栅测微仪
【摘要】 本文介绍一种0~10mm、分辨率1μm数字光栅测微仪,它是一种具有任意零点、高精度的测长系统,由光栅位移传感器和数显仪两部分组成。介绍了其工作原理、主要技术指标和应用。
- 【文献出处】 传感器技术 ,Journal of Transducer Technology , 编辑部邮箱 ,1989年06期
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【摘要】 本文介绍一种0~10mm、分辨率1μm数字光栅测微仪,它是一种具有任意零点、高精度的测长系统,由光栅位移传感器和数显仪两部分组成。介绍了其工作原理、主要技术指标和应用。