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传感器硅膜制备技术的研究

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【作者】 张佐兰； 田耘； 简耀光；

【机构】 东南大学； 东南大学 南京市； 南京市；

【摘要】 <正> 一、引言固态传感器的微结构通常用化学腐蚀法获得,如,薄膜、埋层和悬板等。传感器输出电讯号的灵敏度与机械应力或信号源的变化有关,而这种变化又依赖于薄膜厚度。所以厚度的精确控制对器件性能的影响是十分重要的。

【关键词】 硅膜； 器件性能； 埋层； 薄膜厚度； 机械应力； 微结构； 敏感器件； 外延层； 湿敏； 场效应晶体管；
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