晶振子型气敏传感器及其作用的数理分析

【摘要】 <正>利用晶体振荡器内晶振子上沉积物质后会产生频偏的原理,制成镀膜工艺过程中膜厚监控仪的商品已早问世。但作为气敏元件却是目前掘起的较新方法,它已被应用于分析化学和环保监护等领域中。 晶振子型气敏传感器探头结构是在晶振子上涂覆具有吸气特性膜层,一般厚度约为100nm。如果涂覆亲水性膜,则可成为湿敏元件等等。振荡频率为15MHz时,其灵敏度一般可达2600Hz/μg。很明显,它的极限感量为晶体振荡器频率稳定度和检测器的频率分辨力所决定。 晶体振荡器内晶振子上沉积物质后,因质量增加,会产生频偏。其间关系,从机电类比原理导得如下表达式更多还原