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不同磷压下生长的MOVPE n-GaP中的Ni杂质浓度

THE CONCENTRATION OF IMPURITY Nin-GaP GROWN BY MOVPE UNDER DIFFERENT PH3 PRESSURES

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【作者】 杨锡震丁楠丁维清

【Author】 Yang Xizhen Ding Nan(Department of Physics) Ding Weiqing (Analytical and Testing Center)

【机构】 北京师范大学物理系北京师范大学物理系北京师范大学分析测试中心

【摘要】 用二次离子质谱(SIMS)技术测定了不同磷压下生长的MOVPE n-GaP中的Ni杂质相对浓度.所得结果与用结电容技术测得的同一系列样品中存在的一个具有光-热激发行为的深中心D5的浓度变化规律相符,为将D5中心的化学本质指认为Ni(d9)提供了直接证据.对MOVPE n-Gap中Ni杂质随磷压变化规律作了热化学分析,对实测结果得到了合理解释.

【Abstract】 The relative concentrations of impurity Ni in MOVPE n-GaP grown under different pressures of PH3are measured with SIMS technique. The results agree well with that of the deep centre D5, which expresses obviously photo-thermal excitation behaviour, in the same series of samples measured by juction capacitance techniques. The results give a diract proof for assigning D5 centre to Ni(d9).The variation of the concentration of Ni with the phosphorous pressurd used during growth are explained with a thermodynamic argument.

【关键词】 半导体磷化镓二次离子质谱
【Key words】 semiconductorGaPsacondary ion mass spectroscopyNi.
【基金】 国家自然科学基金
  • 【文献出处】 北京师范大学学报(自然科学版) ,Journal of Beijing Normal University(Natural Science) , 编辑部邮箱 ,1989年01期
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