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真空镀膜机在制备SiO增透膜中的应用

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【作者】 乐兆昌；

【机构】 邮电部上海通信设备厂；

【摘要】 本文主要介绍如何改造真空镀膜机,使它能应用于增透膜的制备.改造后的镀膜机己用于SiO增透膜的制备.将SiO增速膜蒸镀于发光管的发光面上,能使发光管的发光功率和入纤耦和功率有较大的提高.

【关键词】 真空镀膜机； SiO； 发光管； 增透膜； 蒸镀； 光功率； 透射率； 峰值波长； 薄膜理论； 光调制器；
  • 【文献出处】 半导体技术 ,Semiconductor Technology , 编辑部邮箱 ,1989年03期
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