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树脂水超洗工艺的应用研究

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【作者】 孙英； 刘秀喜；

【机构】 山东师范大学科研处； 山东师范大学科研处；

【摘要】 本文介绍了一种树脂水超洗工艺及原理,用该工艺清洗管芯,可显著地减少漏电流,提高反压水平,效果较好,具有推广应用价值.

【关键词】 管芯； 应用研究； 电流比； 半导体器件； 表面清洁度； 有害杂质； 超声波发生器； 超声波作用； 常规清洗； 实验样品；
  • 【文献出处】 半导体技术 ,Semiconductor Technology , 编辑部邮箱 ,1989年03期
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