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全自动四探针电阻率测试装置

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【作者】 张鸿祥； 富乃成； 贺场；

【机构】 中国计量科学研究院； 中国计量科学研究院；

【摘要】 <正>一、概述全自动四探针电阻率测试装置是为硅单晶电阻率标准量值传递而研制的,但也可以作为一般硅单晶片的电阻率测试用.该装置已于去年十月通过国家鉴定.以后又经过半年多的应用考察,取得了满意的结果.故作如下介绍,仅供参考.

【关键词】 电阻率值； 测试装置； 量值传递； 硅单晶； 国家鉴定； 单晶片； 软件流程图； 数字电压表； 针间距； 步进电机；
  • 【文献出处】 半导体技术 ,Semiconductor Technology , 编辑部邮箱 ,1989年01期
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