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深能级浓度分布的一种准确测量方法
【摘要】 本文用 DLTS 方法测量深能级的浓度分布时,引入了有效发射宽度概念,很好地反映了空间电荷区边界层的影响。用它作为测量深能级浓度分布的一个主要参量,非常方便。
- 【文献出处】 稀有金属 ,Chinese Journal of Rare Metals , 编辑部邮箱 ,1988年01期
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【摘要】 本文用 DLTS 方法测量深能级的浓度分布时,引入了有效发射宽度概念,很好地反映了空间电荷区边界层的影响。用它作为测量深能级浓度分布的一个主要参量,非常方便。