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二次离子质谱法在金属表面激光处理工艺中的应用

Application of SIMS to Laser Treatment of Metal Surface

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【作者】 邵玉霞； 陈廉；

【Author】 Shao Yuxia Chen Lian (Institute of Metal Research,Academia Sinica)

【机构】 中国科学院金属研究所；

【摘要】 本文介绍利用二次离子质谱法分析金属表面经激光处理后表面成分及分布状态的几种方法。

【Abstract】 SIMS method for analysing chemical components of metal surface treated by laser is reported in this paper.

【关键词】 二次离子质谱法； 激光处理； 渗铬； 俄歇能谱仪； 元素分析法； 深度分布； 质谱计； 待测样品； 图像分析； 金相观察；
  • 【文献出处】 质谱学报 ,Journal of Chinese Mass Spectrometry Society , 编辑部邮箱 ,1988年04期
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