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用热阴极电离规中的离子漂移速度显示低真空区域的压强
【摘要】 将Schulz—Phelps型高压强电离规加以改进即在其阴极和离子收集极的极板之 间加一个栅极,就可以用来测量高于 100Pa的压强。为达此目的,我们采用了均匀电 场和有平行平面电极的规结构,用离子在电场中的漂移速度与压强的依赖关系可以解释 该电离计的适用范围。从理论上所得的曲线(借助于电子管中常用的经典公式)和实验 测得的曲线都表现出相同的趋势,即在约 100Pa到 1000Pa范围内,栅极离子流与收 集极离子流之比(IG/IIK)和压强近似成线性关系
- 【文献出处】 真空 ,Vacuum , 编辑部邮箱 ,1988年06期
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