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超高真空排气台微机控制系统的研制

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【作者】 曹德福； 陈建华； 胡建英； 钱少青；

【机构】 上海冶金研究所； 上海真空泵厂；

【摘要】 本文介绍了超高真空排气台微机控制系统的主要技术性能、硬件设计方案、系统的软件设计，并强调抗干扰的重要性及其所采取的措施等。

【关键词】 微机控制系统； 真空排气； 硬件设计方案； 抗干扰问题； 气台； 编程序； 软件设计； 执行部件； 接口电路； 控制精度；
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