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膜厚对反冲注八改性的影响

INFLUENCE OF COATING THICKNESS ON SURFACE MODIFICATION OF METALS BY RECOIL IMPLANTATION

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【Author】 Lu Guangyuan, Su Yawen, Ye Weiyi, Liu Furun(Department of Physics, Tianjin Normal University, Tianjin)Li Wang, Zhan Zhenzong(Research Institute of Physical and Chemical Engineering, Tianjin)

【机构】天津师范大学；理化工程研究院；理化工程研究院；

【摘要】本文依据LSS理论并考虑到反冲注入的特点,对反冲注入中入射离子的能量和镀层厚度提出如下选择原则: 1.入射离子的能量应对应于(dε/dρ)。～ε~1/~2普适曲线的极大值。2.镀层厚度应与入射离子在镀层中的投影射程大体一致。实验结巢(如表面硬度的测试,磨损试验,俄歇深度剖析)证明,上述选择原则是合理的。更多还原

【关键词】入射离子；投影射程；镀层厚度；表面硬度；磨损试验；能量交换；载能；深度剖析；反冲能；电子阻止本领；

【文献出处】真空科学与技术 ,Vacuum Science and Technology , 编辑部邮箱 ,1988年02期

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