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采用声光偏转器(AOD)的高速激光束扫描

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【作者】 S.Hosaka; 朱翠英;

【机构】 日·日立公司中心研究室;

【摘要】 我们在理论上和实验上研完了用声光偏转器(AOD)的高速激光束扫描的圆柱透镜的效应。结果,在高速激光束扫描过程中,发现了静态和动态圆柱透镜效应。为实现高速激光速扫描,圆柱透镜补偿是非常重要的。这种补偿的实例是改善电压-频率变换器以及在AOD后用一个圆柱透镜。利用这样的补偿方法,可抑制焦点位置对标称焦平面的偏离,若斜波信号频率为20kHz,当激光束以10m/s的扫描速度在焦平面上扫描过300μm时,可使焦点位置与标称焦平面的偏离保持在4μm以

  • 【文献出处】 压电与声光 ,Piezoelectrics & Acoustooptics , 编辑部邮箱 ,1988年04期
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