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毫米波段高效多层ZnO薄膜声换能器
【摘要】 我们已经制作出多层ZnO声换能器,作为毫米波段高效声波激励。换能器由厚度为半波长的具有交替晶体结构的ZnO薄膜构成。在液氮温度下测量双向未调谐转换损耗,近29GHz时为27dB,96GHz时为50dB。
- 【文献出处】 压电与声光 ,Piezoelectrics & Acoustooptics , 编辑部邮箱 ,1988年01期
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【摘要】 我们已经制作出多层ZnO声换能器,作为毫米波段高效声波激励。换能器由厚度为半波长的具有交替晶体结构的ZnO薄膜构成。在液氮温度下测量双向未调谐转换损耗,近29GHz时为27dB,96GHz时为50dB。