环形偏转器的偏转磁场

【摘要】 <正> 一、引言在扫描电子束仪器内,大多采用结构简单和容易加工制作的环形偏转线包产生的偏转磁场,使电子束发生偏转扫描。为了使磁场集中在线包所包围的空间内,并为了提高磁场强度以增大偏转灵敏度,通常总是把线包绕在具有高磁导率的环形软磁铁芯上,成为环形偏转器。铁芯的截面都是矩形。铁芯材料选用适于在弱磁场内工作的铁钴钒合金更多还原