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LC—2B型中能离子注入机

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【作者】 LC—2B机组； 陈亚光；

【机构】 长沙半导体工艺设备研究所； 长沙半导体工艺设备研究所；

【摘要】 本文重点介绍了由电子工业部四十八研究所研制的LC—2B中能离子注入机的技术性能和运行情况。

【关键词】 离子注入机； LC； 离子注入技术； 技术性能； 电子工业部； 离子源； 靶室； 子注； 薄层电阻； 半导体器件；
  • 【文献出处】 微细加工技术 ,Microfabrication Technology , 编辑部邮箱 ,1988年01期
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