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离子束增强沉积在材料表面改性和优化方面的应用

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【作者】 郑彦； 柳襄怀； 邹世昌；

【机构】 中国科学院上海冶金研究所离子束开放研究实验室； 中国科学院上海冶金研究所离子束开放研究实验室；

【摘要】 本文概要介绍离子束增强沉积材料表面改性和优化技术的原理及设备，列举其在改善材料表面机械性能、光学性能、电磁学性能、抗化学腐蚀性能以及增强薄膜的粘着力等方面的应用．

【关键词】 离子束增强沉积； 材料表面改性； 离子束混合； 薄膜结构； 薄膜生长； 粘着力； 光学性能； 磁学性能； 沉积薄膜； 离子轰击；
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