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静电偏转场边缘区均匀性改善措施

THE MEASURES TO IMPROVE UNIFORMITY OF THE PERIPHERY OF ELECTROSTATIC DEFLECTION FIELD

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【作者】 刘希举； 刘清前；

【Author】 Liu Xiju and Liu Qingqian (Department of Phyiscs)

【机构】 山东大学物理系； 山东大学物理系；

【摘要】 本文给出了不同情况下静电偏转系统中的等位面分布。讨论中提出了一些改善静电偏转场边缘区均匀性的建议。

【Abstract】 The distributions of equipotential surface in electrostatic deflection system under different cases are given in this paper. Some suggestions to improve uniformity of the periphery of electrostatic deflection field are outlined in the discussion.

【关键词】 电子光学； 静电偏转场； 象差；
【Key words】 electron optics； electrostatic deflection field； aberration；
  • 【文献出处】 山东大学学报(自然科学版) ,Journal of Shandong University , 编辑部邮箱 ,1988年01期
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