节点文献

离子束溅射沉积类金刚石薄膜

Deposition of Diamond-like Thin Films by Ion Beam Sputtering

推荐 CAJ下载
PDF下载
不支持迅雷等下载工具，请取消加速工具后下载。

【Author】 Ding Zhengming;Zhang Zihming;Xiu Huannan(Shanghai Jiaotong University)

【摘要】 <正> 类金刚石薄膜已进入实用开发阶段。现通过离子束溅射技术,以氩、氢为混合气体,在硅片与玻片上间接式沉积类金刚石薄膜。用 X 射线光电子能谱及激光喇谱分析,确定其为金刚石微晶与石墨等碳的混合结构组成光亮致密的类金刚石膜。实验证明,束流与膜生长几成正比关系;束能与膜生长有最佳值,认为这是膜的沉积和再溅射二者竞争的结果。薄膜具有更多还原

【关键词】类金刚石薄膜；离子束溅射沉积；光电子能谱；正比关系；离子束溅射技术；束能；间接式；开发阶段；谱分析；混合气体；

【文献出处】人工晶体 ,Journal of Synthetic Crystals , 编辑部邮箱 ,1988年Z1期

【被引频次】1
【下载频次】56

知网节下载

节点文献中：

本文链接的文献网络图示:

本文的引文网络

节点文献