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生长温度对有机金属汽相外延ZnSe薄膜特性的影响

Effect of Growth Temperature on Characteristics of ZnSe Films Grown by OMVPE

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【Author】 Yang Baojun;B.W.wessls(Changchun Institute of Physics;Academia Sinica)(Department of Material Science and Engineering,Northwestern University,U.S.A.)

【机构】中国科学院长春物理研究所；西北大学材料科学与工程系美国；

【摘要】 <正> ZnSe 薄膜是制作蓝色发光器件和激光器件的材料,多用汽相外延生长。有机金属汽相外延(OMVPE)能在较低温度下生长晶体,从而改善外延层的结晶完整性和纯度。本工作以二甲基锌为 Zn 源,硒化氢为 Se 源,氢为载气,GaAs(100)为衬底,在常压下生长 ZnSe 薄膜。更多还原

【关键词】 ZnSe薄膜；有机金属；汽相外延；二甲基锌；薄膜特性；发光器件；硒化氢；激光器件；外延层；生长晶体；

【文献出处】人工晶体 ,Journal of Synthetic Crystals , 编辑部邮箱 ,1988年Z1期

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