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金刚石薄膜的制备与评价

Synthesis and Characterization of Diamond Thin Films(DTF)

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【作者】 金曾孙； 吕宪义； 皇甫萍； 康翰卿； 曲承林； 邹广田；

【Author】 Jin Zengsun;Lu Xianyi;Huangfu Ping;Kang Hanqing;Qu Chenglin;Zou Guangtian(Institute of Atomic and Molecular Physics,Jilin University,Changchun)

【机构】 吉林大学原子与分子物理研究所； 吉林大学原子与分子物理研究所 长春； 长春； 长春；

【摘要】 本文采用热解化学汽相沉积法(CVD)制备了金刚石薄膜,描述了金刚石薄膜的制备条件和生长规律,并对金刚石薄膜的质量进行了评价。

【Abstract】 Diamond thin films have been prepared by the thermal CVDmethod.Preparation conditions and growth features as well as the propertycharacterization of DTF are described.

【关键词】 金刚石薄膜； 沉积法； 金刚石膜； 扫描电镜照片； 金刚石结构； 薄膜材料； 离子束沉积； 晶形； 衍射谱； 高导热性；
  • 【文献出处】 人工晶体 ,Journal of Synthetic Crystals , 编辑部邮箱 ,1988年02期
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