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MOCVD GaAs/Si兼容技术及其应用

MOCVD GaAs/Si Compatible Technique and Its Applications

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【作者】 杨从光； 庄庆德；

【Author】 Yang Congguang and Zhuang Qingde (Nanjing Instiiute of Technology)

【机构】 南京工学院； 南京工学院；

【摘要】 本文着重论述用MOCVD方法生长GaAs/Si的工艺技术及存在的问题。

【Abstract】 This paper describes a technology for GaAs/Si growth by MOCVD and discusses the existent problems.

【关键词】 MOVCVD； GaAs/Si兼容； GaAs； Si；
【Key words】 MOCVD； GaAs/Si compatibility； GaAs； Si；
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