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金属薄膜厚度的正确测量
【摘要】 用干涉显微镜测量金属薄膜厚度,是一种简便而直观的办法。通常情况下,被测对象是用真空蒸镀或溅射等方法在介质基片上沉积的一层金属膜。但由于金属和介质两者的光学性质并不完全相同,因此如果根据金属和介质表面形成的两组干涉条纹之间的弯曲情况来决定金属膜的厚度,会带来一定的误差。本文初步分析了这种误差的来源,并介绍了一种消除误差的方法。
- 【文献出处】 理化检验.物理分册 ,Physical Testing and Chemical Analysis (Part A:Physical Testing) , 编辑部邮箱 ,1988年05期
- 【分类号】TG115
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