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精密钛涂层测厚仪

A thickness gauge for precise determination of titanium coating

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【作者】 顾连学乐安全谷英梅江立人韩发生林金锌

【Author】 Gu Lianxue Le Anquan Gu YingmeiJiang Liren Han Fasheng Lin Jinxin(Shanghai Institute of Nuclear Research, Academia Sinica)

【机构】 中国科学院上海原子核研究所中国科学院上海原子核研究所

【摘要】 本文介绍一种用微机控制的精密钛涂(镀)层厚度测定仪,测量范围为0.1—10μm,最小测量面直径为3mm,精度优于±5%。

【Abstract】 A thickness gauge combining the techniques of X-ray fluorescence analysis and microcomputer has been designed for precise determination of titanium coating. Its measurable thickness ranges from 0.1 to 10 micrometer. The minimum measurable area is 3 mm in diameter. Practically the accuracy is better than 5%.

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