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Ni/Si体系离子束混合及相变研究

The investigation of ion beam mixing and phase transformation in Ni/Si system

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【Author】 Mao Sining Yang Xihong Chen Jian(Beijing University)Liu Jiarui Yang Feng Wang Yu (Institute of Physics, Academia Sinica)

【机构】北京大学；北京大学；中国科学院物理研究所；中国科学院物理研究所清华大学物理系；

【摘要】注入参量变化引起不同的混合结果,在宽温区中得到Ni₂Si、NiSi、NiSi₂多种化合物相,进而探讨了Xe离子诱导的Ni/Si体系界面原子混合机理及诱发相变的动力学过程。更多还原

【Abstract】 The nickel silicide phases produced by ion beam mixing were investigated. Ni2Si, NiSi and NiSi2 phases were obtained with different implantation parameters. The dynamic process of phase transformation and the mechanism of ion beam mixing were also discussed.更多还原

【关键词】离子束混合； Ni/Si体系相变；
【Key words】 ion beam mixing phase transformation of Ni/Si system；

【基金】国家自然科学基金

【文献出处】核技术 ,Nuclear Techniques , 编辑部邮箱 ,1988年03期

【被引频次】1
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