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圆光栅照相复制工艺的研究
【摘要】 提高圆光栅的照相复制精度和均匀性是国内外急需解决的问题。本文就提高圆光栅照相复制精度和均匀性的工艺因素作了详细分析,并提出了提高上述指标的方法。
- 【文献出处】 光学技术 ,Optical Technique , 编辑部邮箱 ,1988年01期
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【摘要】 提高圆光栅的照相复制精度和均匀性是国内外急需解决的问题。本文就提高圆光栅照相复制精度和均匀性的工艺因素作了详细分析,并提出了提高上述指标的方法。